研究課題
今年度は、装置の基本部分であるレーザースキャナーとフォトルミネッセンス(PL)集光装置の精密調整を行ない、試料冷却機能、画像処理機能を付加し、各種試料の高空間分解PL測定を行なった。1.10μm径のレーザービームを、試料面上で1mm×1mmの範囲においてX、Y方向ともに1μmの精度で安定に2次元走査できるように、レーザースキャナーを調整した。2.PL集光光学系において、PL像転送の際、検出器上でPL像が均一に広がり、かつビーム走査による影響を受けなくなるよう調整した。3.クライオスタット・コールドフィンガーをサンプルステージに設置し、赤外対物レンズとの光軸を調整した。試料への機械的振動伝達を極力低減化する対策を施した結果、冷却器動作時の試料台の振動は、本測定に支障のない数μm以内に低減された。4.低温・赤外領域における半導体結晶の顕微PLマッピングのデータ取得に世界に先駆けて成功した。4.急冷Si結晶の転位線近傍の顕微PLマッピングのデータの解析より酸素析出挙動を解析中である。5.Si添加GaAs結晶中の転移線近傍の顕微PLマッピングのデータより、微小欠陥と転位の相互作用等について解析中である。
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