| 研究課題/領域番号 |
05555035
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| 研究機関 | 東京電機大学 |
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研究代表者 |
新津 靖 東京電機大学, 工学部, 助教授 (70143659)
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| 研究分担者 |
篠倉 恒樹 富士電機, 生産技術研究所, 主席研究員
池田 照樹 日本分光, 研究課長
山口 泰 東京大学, 教養部, 助教授 (80210376)
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| キーワード | 応力分布計測 / シリコン単結晶 / 残留応力 / 光弾性 / 赤外線レーザ / 光弾性変調器 / 高周波変調法 |
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| 研究概要 |
平成5年度中に、光弾性変調器と高周波変調法による応力分布計測はHe‐Ne(可視光)レーザを使って十分な実績を積んだ。また、赤外線を光源に利用する場合について以下の進展をみた。
【最適な透過光の波長の調査】厚さ0.5mmのシリコンウエハに波長950nmの赤外線を透過させた結果、フォトディテクタのゲインを上げることで計測が可能なことが確認された。現在、波長1150nmのHe‐Neレーザを購入し、装置の試作を開始している。(平成6年11月シカゴでの国際会議で発表予定)
【レーザー光のフォーカッシングのための光学系の試作】計画では試料上に直径2mum以内に焦点を合わせるための光学系を製作する予定であったが、赤外線レーザの納期の関係で、光学系の設計はほぼ完了しているが、まだ成功していない。また、現在の研究室環境では赤外線を絞ることは困難であり、直径10mum程度が限度と考えられる。
【応力を発生させるための負荷装置の試作】長方形シリコンウエハ試料に正確な引張負荷を加えることができる装置を試作した。現在までに、ガラスやポリカーボネイトで模擬試験片を製作し、可視光レーザで予備実験を行った。
平成6年度は、前年度までの研究成果を踏まえ、シリコン単結晶板の赤外線透過特性と、主応力方向が[100],[110]および[111]結晶方位の場合の応力とリターデーションの関係を求める。さらに、この結果から、任意の方向の応力を計測する方法を開発する。
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