| 研究分担者 |
島 耕司 三菱化成株式会社, 総合研究所, 研究員
佐藤 忠一 日本精工株式会社, 生産技術研究所, 所長
橋詰 等 東京工業大学, 工学部, 助手 (50218400)
稲場 千佳郎 東京工業大学, 工学部, 助手 (10223231)
新野 秀憲 東京工業大学, 工学部, 助教授 (40196639)
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| 研究概要 |
本研究は電気粘性効果を積極的に利用した新たな構造概念に基づく能動形超精密送りテーブルシステムを実現することを目的としている。最終年度の平成6年度においては以下の要素研究を実施すると共に,それらを統合化することにより,次に示すような工学上或いは工業上有用な研究成果を得ることができた。
(1)超精密加工機や超精密測定機において広く用いられているボールねじ駆動方式空気静圧案内テーブルシステムをモデル化した評価用テーブルシステムを新たに設計,試作し,それを用いて電気粘性効果を発現するための最適な電気粘性流体の選定,並びに最適電極間の形状,寸法の設定等,具体的なシステム構築に必要な基礎設計資料を整備することができた。
(2)超精密テーブルシステムの特性制御を目的とした電気粘性流体の具体的な要求特性を明らかにするため,液晶系と分散系の電気粘性流体の詳細な特性比較を行うことにより,それらの得失等を定性的及び定量的に明らかにした。
(3)実機への組込みを目的とした能動形ボールねじ駆動方式空気静圧案内テーブルシステムのプロトタイプを試作開発し,提案する電気粘性効果利用による特性制御が,能動形テーブルシステムを実現する上で有効であることを確認した。
(4)電気粘性流体の特性評価試験装置を開発することにより,電気粘性流体の動的な特性を精密に評価することにより,能動形超精密テーブルシステムに最適な電気粘性流体の最適な使用条件を決定する。
なお,本研究成果は,既に日本機械学会第71期全国大会及び第72期全国大会にて公表した他,日本機械学会論文集(C編)に発表予定である。
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