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1993 年度 実績報告書

ナノビジュアルサーボイングに基づく超微細作業知能ロボットに関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 05555074
研究機関東京大学

研究代表者

佐藤 知正  東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (50235371)

研究分担者 島谷 孝  サンユー電子, 開発部, 主任研究員
畑村 洋太郎  東京大学, 工学部, 教授 (40010863)
キーワードハンドアイシステム / ビジュアルフィードバック / 微細作業ロボット / マイクロマシン組立 / マイクロ作業 / マニピュレータ / 視覚処理 / ビジュアルフィードバック
研究概要

本研究の目的である電子顕微鏡からの視覚情報に基づいてナノメータオーダの精度で微小な対象物に対して作業を実施する「ナノビジュアルマニピュレーション手法」を確立し、その有効性を超LSIの修理やマイクロマシンの組立実験によって実証するために、作業のための新機能を具備した電子顕微鏡を実現し、その機能を活かしたビジュアルサーボイングアルゴリズムを開発・蓄積した。成果の詳細は以下の通り。
1)注視機能付き実時間立体電子顕微鏡の実現:電子顕微鏡に、視覚制御のために不可欠な電子的分解能切り換え機能(ズーム機能)、複数分解能立体映像同時撮像機能とランダムスキャニング機能を追加し、「注視機能付き実時間立体電子顕微鏡」として利用可能とした。
2)ナノビジュアルサーボイング基本プログラムの蓄積:例えば、高分解能の局所映像から工具の作用点の位置情報を得、低分解能の大局映像から針の姿勢情報を得て、これらの情報を融合させることでマニピュレータのとるべき位置姿勢を計算し、信頼性の高い作業を実施するなどのビジュアルサーボインの基本アルゴリズムを開発蓄積した。この手法は、三角形を相似則によって縮小する場合、三角形を構成する辺の寸法(距離や位置の情報)は縮小されるがその角度(姿勢情報)は縮小されないという原理に基づいた新しい超微細作業に必要なサーボアルゴリズムである。

  • 研究成果

    (4件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (4件)

  • [文献書誌] Y.Hatamura: "Construction of 3-D Micro Structure by Multi-face FAB,Co-focus Rotational Robot and Various Mechanical Tools" Proc.IEEE Micro Electro Mechanical Sysytems. 94CH3404-1. 297-302 (1994)

  • [文献書誌] T.Sato: "Micro Teleoperation Consentrating Visual and Force Information at Operator's Hand" Proc.of 3rd Int.Symp.on Experimental Robotics(ISER). Vol.3. 118-124 (1993)

  • [文献書誌] T.SATO: "Novel Manipulator for Micro Object Handling as Interface between Micro and Human World" Proc.of IEEE Int.Conf.on Intelligent Robots and Sysytems. Vol.3. 1674-1684 (1993)

  • [文献書誌] T.SATO: "Micro Handling Robot for Micro Machine Assembly--A Vision/Operation/Motion Cofocused Manipulation System" Proc.of 1st IARP Workshop on Micro Robotics and Systems. Vol.1. 138-148 (1993)

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公開日: 1995-02-08   更新日: 2016-04-21  

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