| 研究概要 |
高分解能超音波スペクトラム顕微鏡システムを開発するとともに,それを用いて材料のスケルパラメータを評価することを目的とした開発研究を行った.本年度の成果は次のとおりである。
1.高分解超音波スペクトラム顕微鏡システムを開発
超音波反射率の局所的測定に基づく表面波スペクトロマイクロスコピーシステムを開発した.これにより,空間分解能10〜150μm,周波数帯域10〜150MHzでの弾性表面波挙動の測定が可能となり,本研究のハードウェアは完成した。
2.基礎パラメータ評価手法の確立
力学特性を評価するための基礎的パラメータである表面波速度と超音波減衰を,上記システムを用いて定量的かつ高精度に評価する手法を開発した.
3.AMS逆解析手法の確立
測定した超音波パラメータから材料の弾性特性,密度および表面層の状態を定量的に評価するためのAMS(Acoustic Material Signature)逆解析手法を開発し,その有効性を確認した.これにより,微小領域および表面層における定量的力学特性評価の基礎が完成した.
4.局所領域の力学特性評価
開発した高分解超音波スペクトラム顕微鏡システムおよび逆解析手法を用いて,微小領域における単結晶の弾性異方性評価,多結晶材料の平均特性評価さらにコーティング薄膜の力学特性評価を行い,材料評価システムとしての有効性を確認した。
現在,本評価システムを種々の材料に適用し,それらのスケールパラメータ評価に取り組んでいる.
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