| 研究課題/領域番号 |
05558053
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
佐藤 徳芳 東北大学, 工学部, 教授 (40005252)
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| 研究分担者 |
中川 行人 日電アネルバ, 研究開発本部, 主任
塚田 勉 日電アネルバ, 研究開発本部, 部長
畠山 力三 東北大学, 工学部, 助教授 (00108474)
飯塚 哲 東北大学, 工学部, 助教授 (20151227)
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| キーワード | 大口径プラズマ / ECRプラズマ / スロットアンテナ / プラズマプロセス / 均一プラズマ / エッチング / マイクロ波 |
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| 研究概要 |
これまでに製作された直径26cmの小型平面ECRアンテナを用いて、以下の成果が得られた。
1)アンテナインピーダンスの測定を行い、本実験で用いたアンテナが効率的なマイクロ波整合及び放射特性をもっていることが明らかにされ、効率よいアンテナ設計のため基礎データを得ることができた。また、電磁界放射についての理論的解析を行なった。
2)小型の平面ECRアンテナでプラズマ発生の空間分布を調べ、直径約25cm(約10インチ)均一度±3%程度のプラズマの生成に成功し、アンテナ近傍の磁力線分布及び真空容器内面のプラズマ閉じ込め用マルチポール磁場の重要性を確認した。
3)O_2、SF_6、N_2などの多原子ガス、反応ガスを使用し、アルゴンガスで得られたプラズマ密度や均一性が使用するガスの種類にどう依存するかを調べた結果、密度に対しては電離断面積の違いによる差異は認められたが、大面積均一性に関しては同等な値が得られた。
4)酸素プラズマによるフォトレジストのエッチング実験を実際に行い、エッチング速度の一様性について調べた結果、プローブ測定で得られた密度分布に対応する均一性が得られた。
以上により、さらに大口径化の基礎データを得ることができた。
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