| 研究課題/領域番号 |
05558055
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| 研究機関 | 筑波大学 |
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研究代表者 |
長 照二 筑波大学, 物理学系, 助教授 (80171958)
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| 研究分担者 |
斉藤 豊 セイコー電子工業(株), 開発総括部・プロセス開発部, 課長
前沢 秀樹 文部省高エネルギー物理学研究所, 放射光実験施設, 教授 (40150015)
田中 茂利 福井工業高等専門学校, 教授, 学校長 (20025240)
近藤 真史 筑波大学, 物理学系, 講師 (70222247)
山口 直洋 筑波大学, 物理学系, 講師 (90158113)
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| キーワード | 半導体X線検出器 / X線感度理論 / X線多層計測器 / プラズマX線計測 / シンクロトロン放射光計測 / 放射光モニター / 多チャンネルX線検出器 / X線検出器アレー |
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| 研究概要 |
本年度は、本研究の最終年度にあたり、以下の様に予定に従って研究を遂行した。
まず、新理論による多チャンネル新型多層X線計測器のアレイ形状の設計・製作・電気特性試験を、以下の様に行った。
(1)前年度のシングルチャンネルの新型X線計測器の特性評価結果に基づく、多層高空間分解能・高出力、新型X線計測器アレイを設計した。
(2)前年度の手法による新型多層計測器を製作した。
(3)同様に、新型多層計測器アレイの電気特性試験を行った。
次に新型X線計測器アレイの入射X線に対する、高出力・空間分解能の評価を行った。即ち、
(1)シンクロトロン放射光による、従来型検出器に比べての高出力特性とチャンネル間クロストークの低減を実証し、更にその物理機構の実証を行った。
(2)プラズマ計測に導入して、高磁場の下でのX線トモグラフィ計測を実施した。
(3)新理論による、シリコンウエハ-の加工法により、プラズマ計測に対し、最適なエネルギー感度特性を得た。
以上の結果を、欧米で行われた3種類の国際会議で発表すると共に、合計10数編の学術論文を、アメリカ物理学会並びに我が国のプラズマ核融合学会誌に発表した。加えて、本新技術は国際特許として、現在アメリカ、ヨーロッパ、並びに日本等に申請中である。
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