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1)電極分離形積層形圧電素子とその駆動回路を作成し、その基本性能を実験により確かめた。この結果、素子と部品との接触力を約0.005Nの分解能で0-30Nの範囲で検出可能であること、また駆動性能として発生力3000N・変位分解能0.01μm・最大変位60μmであることを確認し、当初計画したマイクロインパクトハンマーの性能として十分であることを明らかにした。
2)CNC3次元測定機とギャップセンサを組み合わせた計測装置を開発し、調整対象部品である治具部品の初期位置・姿勢誤差を自動計測させ、その計測データに基づいて簡単な自動調整実験を行なわせた。この結果、部品の移動範囲として併進移動5μmから60μm、回転移動0.0002rad0.002radの範囲で調整が可能であり、最大併進ずれ30μm・回転ずれ0.001radの範囲にあるボルト締結部品を、併進ずれ5μm・回転ずれ0.0002radの許容組立精度の範囲に安定して調整可能であることを確認した。
以上の成果について、平成4年度精密工学会秋期大会および平成5年度精密工学会春期大会で発表を行った.
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