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移動ロボットの3次元位置・変位の測定方法の研究の初年度として、以下の研究を行った。
1.粗動・微動で多自由度で移動できるロボットを開発した。
(1)ピエゾ素子を利用した、多自由度移動ロボットを制作して、その機能を評価した。
(2)粗動モードでは、3自由度で定盤面上を絶対的に移動できた。
(3)微動モードでは、6自由度で相対的にマイクロメータオーダの位置決めが行えた。
2.移動ロボットを追尾するためのレーザ測距システムを開発した。
(1)トラッキングミラーとレーザ測長機を利用した、2次元レーザ測距システムを開発した。
(2)粗動モードの移動に対して、レーザが追尾し、絶対的な位置の計測が行えていることを、3次元測定機を利用して確認できた。
3.移動ロボットの微動モードに対応させるために、レーザ測距システムに相対変位計測システムを付加した。
(1)PSD(半導体位置検出素子)をトラッキングミラーに組み込んだシステムを付加し、移動ロボットの微動モードの微小変位の計測を行った。
(2)電気マイクロメータによる測定と比較して、このシステムが微小変位を正しく測定できることを確認した。
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