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1994 年度 実績報告書

真空中におけるレーザアブレーション粒子挙動の研究

研究課題

研究課題/領域番号 05650286
研究機関九州東海大学

研究代表者

堤 忠民  九州東海大学, 工学部, 教授 (60248606)

研究分担者 松前 博見  九州東海大学, 工学部, 講師 (10199846)
岡野 大祐  九州東海大学, 工学部, 助教授 (00169129)
園田 義人  九州東海大学, 工学部, 教授 (90117143)
キーワード真空 / 絶縁破壊 / レーザー / アブレーション / 放電誘導
研究概要

本年度(研究最終年度)前半には研究成果の一部を電気関係学会九州支部連合大会で公表し(論文No714)、後半で研究成果を冊子体にまとめた。
本研究の目的は高真空中における再現性の良い実験条件を見出すことであり、CO_2パルスレーザーを高真空中での電路形成の補助手段とした。CO_2パルスレーザーによる高真空中での放電誘導がどういう条件で可能かを圧力、電極材料、電極ギャップ、レーザエネルギー等をパラメータとして実験を行った。結果を要約すると以下の通りである。
1.CO_2パルスレーザを電極表面に照射すれば放電誘導は可能である。放電誘導はレーザのエネルギーが高いほど、電極間電圧が高いほど起きやすい。レーザエネルギーを40%に減衰させても放電誘導は起きる場合がある。
2.アルミニウムの方がステンレスより放電誘導が起きやすい。
3.CO_2パルスレーザを圧力が10^<-7>Torr台の電極空間に照射しても放電誘導は起きない。圧力を10^<-4>Torrにしても同じであった。
4.レーザパルスのエネルギーによって、表面の温度が電極材料の融点に達した時放電誘導が可能となる、という仮定で理論計算すると今回の実験結果をある程度説明できる。
5.同じ条件でも放電誘導が起きる場合と、起きない場合とがある。その原因究明が今後の研究課題である。

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公開日: 1996-04-08   更新日: 2016-04-21  

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