| 研究分担者 |
SADAYAPPAN P オハイオ州立大学, 情報工学科, 教授
HAMISH L.F. オハイオ州立大学, 材料工学科, 教授
RAMANUJAN J. オハイオ州立大学, 情報工学科, 教授
CHRISTENSEN オハイオ州立大学, 機械工学科, 教授
MIYAHARA T. オハイオ州立大学, 化学工学科, 教授
FAN L.S. オハイオ州立大学, 化学工学科, 教授
CRUZ Jose B オハイオ州立大学, 工学部, 学部長
藤松 孝裕 鈴鹿高専, 機械工学科, 助手 (50238606)
中村 雅司 鈴鹿高専, 電気工学科, 助手 (70249803)
小林 達正 鈴鹿高専, 材料工学科, 講師 (10225518)
岩田 政司 鈴鹿高専, 工業化学科, 助教授 (10151747)
船戸 康幸 鈴鹿高専, 電子情報工学科, 教授 (10005358)
岡田 修 鈴鹿高専, 機械工学科, 教授 (40043301)
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| 研究概要 |
1.ボロン膜の酸素に対する良好なゲッタリング作用をもつことを確かめた基礎研究を基にして,ボロン薄膜特性の総合的評価を進めた結果,以下の事項が確かめられた.
1)スパッタリング用真空容器内壁へのLaB_6スパッタ蒸着により,真空容器内のH_2O分圧が低減されることがわかった.
2)LaB_6スパッタ膜のXPS分析により,膜の内部にも残留ガスの成分であるO,Cが取り込まれることが判明した.このことは,酸素不純物制御を必要とする実験に有用な結果である
3)真空容器内の残留ガスの低減および膜内部の不純物が,比較的少なくなるようなスパッタ条件の改善,膜物性の詳細な評価等,今後の課題である.
2.新機能材料における微粒化技術を開発(とくに,一定粒径の超微粉の生成技術)するにあたり,まず液体を微粉化し,その粒径および粒径分布の正確な測定技術の確立を行った結果,以下の事項が確かめられた。
1)液浸法に基づく液滴径測定に関する定量的評価・検討を行った結果,LDNがある値において最大値となり,それ以降はその値が減少し,平均粒径は急速に大きくなることがわかった.これは,LDNが最大値となる前に液体噴霧の採取条件を設定すれば,噴霧粒子群の合体の影響が少なくできることを示唆している.しかしながら,このLDNの最大値は噴霧を生成する装置によって異なるため(つまり生成される液体噴霧の粒径によって異なる),より一般的な整理が必要となる.そこで,データ整理の際にDAFをLDNの変わりに用いた結果,二種類のAtomizerでそれぞれDAFが5〜10%から平均粒径が急激に増大することがわかった.
2)上記の事項を考慮して,気液環状噴霧流について,管内の浮遊液滴の平均粒径および粒径分布を測定した結果,本研究範囲において,平均粒径(ザウタ平均径)は,管断面で45〜80μmの範囲をもつことがわかった.また,レーザ光を用いてそれらを測定した他者の結果と比較してみると,その差は25%程度であった.
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