| 研究分担者 |
嶋森 洋 福井工業大学, 工学部, 教授 (80139815)
橘 邦英 京都工芸繊維大学, 工芸学部, 教授 (40027925)
真壁 利明 慶応大学, 理工学部, 教授 (60095651)
籏野 嘉彦 東京工業大学, 理学部, 教授 (90016121)
土手 敏彦 福井工業大学, 工学部, 教授 (20087422)
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| 研究概要 |
電子輸送の理論的解析では非弾性効果を考慮した輸送方程式とBoltzmann方程式との関係が希ガス中の電子について明らかにすることができた。また計算手法に於て均質,非均質RF電場中での電子輸送に関する数値解法の問題点をモンテカルロ法との比較によって解かれ,多様な放電処理中の電子の挙動を明らかにした。電子輸送の非弾性効果のひとつである電子付着がスオーム現象の解明に重要であることが実験的に明らかになった。今後はこの過程を理論,数値計算にとり入れ,電子輸送の定量的な把握を試みる。
中性原子,イオン過程の研究では,従来計測が困難であった励起原子と中性原子との非弾性衝突に関して実験手法を確立するとともに、その反応過程反応断面積の測定を行った。また高密度状態でのイオン・電子再結合の過程を明らかにし,非弾性過程の重要な部分を計算シミュレーションを行う準備が整った。またこの過程の中で超励起状態の果す役割も明らかとなった。
放射線計測,同位体分離等の応用面で,輸送発展特性を高速に行う計算手法が開発されたことで今後期待ができる。また非等方散乱をとり入れたFTI計算も多様な偵件での検記がすすめられ,応用面での利用も考えられる。
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