非弾性効果を考慮した電子・イオンスオーム過程とその応用

1995 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 06302033
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 武部 雅汎 東北大学, 工学部, 教授 (30005392)
• 研究分担者: 嶋森 洋 福井工業大学, 工学部, 教授 (80139815) ; 真壁 利明 慶応義塾大学, 理工学部, 教授 (60095651) ; 旗野 嘉彦 東京工業大学, 理学部, 教授 (90016121) ; 藤本 孝 京都大学, 工学部, 教授 (90026203) ; 佐藤 信安 岩手大学, 教育学部, 教授 (20001290)
• キーワード: 電子スウォーム / イオンスウォーム / 非弾性効果

研究概要

研究計画に基づいて、第1班(理論)、第2班(実験)、第3班(応用研究)の3班が、他の班との密接な連携をとりつつ、以下の研究課題に取り組んだ。
○第1班:土手、田頭、生田、真壁、佐藤、近藤。
非弾性及び非等方性効果を取り入れたボルツマン方程式の解について積極的な議論を行い、実験結果解析の具体的方針を決定した。これに従って、マトリクス数値解析法による希ガス中の電子速度分布の緩和過程、混合希ガス中の電子輸送計数の拡張ブランの法則、シランガス中の非平衡電子輸送のモデル化等の研究を行った。
○第2班:武部、旗野、中村。
イオンの移動度における非弾性効果の影響を、可変温度型ドリフチューブ実験により確認した。電子の移動度及び拡散計数を、酸素、酸素/アルゴン混合系、CF_4の3種類のガス中で測定し、第1班の成果を基礎に非弾性衝突断面積のエネルギー依存性を決定した。高密度キセノン気体中での電子の移動度、及び電子/イオンの再結合係数の測定を行い、従来の理論では説明不可能な再結合機構が存在することを指摘した。
○第3班:藤本、橘、桜井、嶋森、柴田、藤井。
パルスレーザー光、電子ビームを計測手段として、放電プラズマ中準安定原子の温度測定、その誘電体表面近傍での振舞い、電子付着気体中での電子の熱平衡化過程等の研究を行った。更に、原子法レーザ同位体分離をガドリニウムに適用しイオン回収効率を上げる研究や、気体放電下で生成されるクーロン結晶の研究を行った。
以上の、理論、実験、応用の有機的連携のもとに組織的に行われた研究の成果は、非弾性効果を考慮した電子・イオンスウォーム過程理解のために、今後少なからず貢献するものと思われる。

研究成果

• [文献書誌] K.Iinuma: "Design and performance of new drift-velocity filter for ion swarm experiments." Int.J.Mass Spectrom.Ion Processes. 142. 151-162 (1995)
• [文献書誌] 佐藤信安: "RFプラズマ中、非平衡電子輸送のモデリング" 電気学会放電研究会資料ED-95-282. 282-289 (1995)
• [文献書誌] T.Dote: "The transition from free to ambipolar diffusion including inertia terms in charged particle trunsport." Progress Rep.Atom.Colli.Research in Jpn.21. 109-110 (1995)
• [文献書誌] A.Hishikawa: "Monte Carlo study of population and alignment relaxation by trapped line radiation." Physical Revieu. A52. 189-196 (1995)
• [文献書誌] M.Ukai: "State-to-state behavior in the neutral dissociation of O_2 for beyond the ionization threshold." Physical Revieu Letters. 74. 239-242 (1995)
• [文献書誌] R.E.Robson: "Frequency variation of the mean energy of rf electron swarm." Aust.J.Phys.48. 335-346 (1995)
• [文献書誌] K.Sawada: "Effectire ionization and dissguation rate coefficients of molecular hydrogen in plasma." J.Appl.Phys.78. 2913-2924 (1995)
• [文献書誌] K.Ito: "Monochrometer at beamline 20A of the Photon Factory." Rev.Sci.lnstrun.66. 2119-2121 (1995)
• [文献書誌] T.Odagiri: "Electron energy-loss study of superexeited hydrogen nolecules with the coincidence detection of 〜" J.Phys.B:At.Mol.Opt.Phys.28. 465-470 (1995)
• [文献書誌] N.Nakano: "lnfluence of driving frequency on narrow-gap reactive-ion etching in SF_6" J.Phys.D. 28. 31-39 (1995)
• [文献書誌] M.Shibata: "O_2 rfdischarge structure is parallel plates reactor at 13.56MHz" J.Appl.Phys.77. 6181-6187 (1995)
• [文献書誌] T.Sunagawa: "Low-energn electron attachment to brominated ethanes and ethylenes." Int.J.Mass Spectrom Ion Processes. 149/150. 123-129 (1995)
• [文献書誌] T.Sakurai: "Dissociation processes of SiCl_4 and plasma parameters measured by trannint spectroscopy 〜" Aust.J.Phys.48. 515-526 (1995)
• [文献書誌] N.Ikuta: "Theory of FTI method for the analysis of electron and ion transport properties." J.Phys.Soc.Jpn.64. 1148-1163 (1995)
• [文献書誌] K.Kondo: "Relaxation process of the velocity distribution and transport coefficients of electron swarms in krypton." J.Phys.D:Appl.Phys.27. 1894-1905 (1994)
• [文献書誌] H.Shimamori: "Low-energy electron attachment to C_6H_5X (X=Cl,Br,and I)" Chemical Physics Letters. 232. 115-120 (1995)
• [文献書誌] 真壁利明: "低温プロセスプラズマモデリングの現状と課題" 応用物理. 64. 547-553 (1995)
• [文献書誌] 武部雅汎: "希ガスおよび大気成分中のアルカリイオンの移動度とクラスター反応" 質量分析学会誌. 43. 225-238 (1995)