研究課題/領域番号 |
06402048
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研究機関 | 名古屋大学 |
研究代表者 |
坂 公恭 名古屋大学, 工学部, 教授 (90023267)
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研究分担者 |
佐々木 勝寛 名古屋大学, 工学部, 助手 (00211938)
黒田 光太郎 名古屋大学, 工学部, 助教授 (30161798)
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キーワード | 高分解能観察 / 分析電子顕微鏡 / その場高温観察 / 表界面 |
研究概要 |
最近、1500℃の高温でも0.2nm程度の高分解能が得られ、しかもエネルギー分散型X線分析装置によるナノメータ領域での元素分析が容易に行える電子顕微鏡内試料加熱ホルダーを開発した。本研究はこの新しく開発した試料加熱ホルダーを用いて1000〜1500℃という高温で起きる種々の現象を原子レベルでの高分解能観察とナノ領域での元素分析を組み合わせることにより、材料科学の未解決の諸問題を解決することを目的としたものである。 本年度は固体内での表面の高温挙動について研究した。すなわち、 (1)電子顕微鏡内その場加熱実験により1000℃の高温でのSiにAuを蒸着させることによりSi表面を再構築させること過程を原子レベルで観察した。 (2)Si表面を酸化させ、高温でそれを還元させる過程を観察した。還元中にSiと酸化物の界面が激しく振動することを見いだした。この発見は固体内での界面が極めてダイナミックであることを示すもので興味深い。 これらの成果は論文として公表されるとともに、平成8年7月に開催される「第8回異相界面/粒界に関する国際会議」でも発表の予定である。
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