低温極薄膜固体と低エネルギーイオンの反応ダイナミックス

1994 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 06453019
• 研究種目: 一般研究(B)
• 研究機関: 山梨大学
• 研究代表者: 平岡 賢三 山梨大学, 工学部, 教授 (80107218)
• キーワード: イオン-固体衝突 / イオン-分子反応 / 飛行時間型質量分析計

研究概要

反射鏡の終端電柱を極低温冷凍機のコールドヘッド(10〜300K可変)とする反射鏡型飛行時間型質量分析計、およびこれを収納する超高真空排気装置を試作中である。コールドヘッド前面に気体試料をリ-クバルブを通して導入し、コールドヘッド上に試料を真空蒸着した。気体試料の電子衝撃、あるいはイオン鏡を用いて、反射イオンを生成した。反応イオンの飛行時間差により、特定のインオを選別し、凍結したファンデルワールス薄膜固体と衝撃させた。イオンが固体を衝撃するエネルギーを反射鏡の反発電物により、連続的に変化させた。イオンと固体表面の反応によって生成した二次イオンを飛行時間型質量分析計で分離・検出した。イオンと基板の衝突角を90°に設定して実験を行うためのイオン偏向方式を新たに考案し、製作した。イオンは、表面との衝突後、量物下で垂直に気相に取り出され、偏向電極により方向を変えてマルチチャンネルプレートにて検出される。この方式により極低エネルギー(〜OeV)と固体表面反応の解析が初めて可能と分った。

研究成果

• [文献書誌] K.HIRAOKA,A.YAMASHITA: "Ammonia fruaticn fron the reactions of H a foms with N afcns Habed in the solid Ne matrix at 10-30K" AsHophyiccl Journa. (in press). (1995)
• [文献書誌] K.HIRAOKA,I,KUDAKA: "gas-phase saluation of O_2^+,O_4^+,andO_6^+ uich Ar" Journal of Mass Spectrimity Souity of Japan. (in press). (1995)
• [文献書誌] K.HIRAOKA,K,AIZAWA: "Elecpscal Nduction and highlg-seusifnie Analysis M ioclinc in olictsspruy msss ssectromitug" Journal of Mass Spectrimity Souity of Japan. (in press). (1995)
• [文献書誌] Y,IIJIMA,K,HIRAOKA: "Low-energy Ar rcuhal lcam etchmig methad for X-ray Phslcsbcthon Spectroscopy" Gusfau and ln Lufau Analpis. 21. 778-784 (1994)
• [文献書誌] Y,IIJIMA,K,HIRAOKA: "Analysis of polyethyleneterephthalgte,film surfacc sputterd with Ar neutral and Ar beams" Japanese J.Appl.Phy.33. 6325-6330 (1994)
• [文献書誌] K.HIRAOKA,S,YAMABE: "Frofion-conHolKd structcue of the gas-phracA^±(CS_2)n cluales,A^±=S_2^±,CC_2^±" Journal of Dhysical Chemistry. 98. 1802-1809 (1994)