| 研究課題/領域番号 |
06555011
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(A)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 試験 |
|---|
| 研究分野 |
応用光学・量子光工学
|
|---|
| 研究機関 | 東北大学 |
|---|
研究代表者 |
川上 彰二郎 東北大学, 電気通信研究所, 教授 (10006223)
|
|---|
| 研究分担者 |
片岡 春樹 住友大阪セメント(株), 中央研究所, (参事)研究職
佐藤 尚 東北大学, 電気通信研究所, 助手 (30261572)
花泉 修 東北大学, 工学部, 助教授 (80183911)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
1994 – 1996
|
| キーワード | 光集積デバイス / 偏光分離素子 / 光アイソレータ / 光スイッチ / 多層膜 / RFスパッタリング / プラズマCVD |
|---|
| 研究概要 |
積層形偏光分離素子(laminated polarization splitter:LPS)は、屈折率の異なる2種材料の多層膜からなる極めて小さな偏光分離素子であり、集積型光機能デバイスの重要な構成素子である。本研究では、光通信で用いられる波長1.55μm帯用および1.3μm帯用の高性能なLPS作製技術の検討をおこなった。波長1.55μm帯用では、rfスパッタリング法を用いて、厚さ200μm以上の多層膜を平坦で且つ安定に作製することができた。その結果、0.1dB/100μmの極めて低損失なLPSを達成した。波長1.3μm帯用では、プラズマCVD法におけるa-Si_<1-x>C_xとSiO_2からなる多層膜の作製条件を最適化することにより、LPSの損失を以前に比べて低減することができた。作製したLPSを平面導波路集積型光コネクトに応用し、動作確認をおこなった。また光ファイバ垂直集積デバイスとしてアイソレータアレイを試作し、本集積構造の有用性を実証した。
|
