共鳴第三高調波発生による強力なXUV64nm光源の開発

1994 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 06555015
• 研究機関: 九州大学
• 研究代表者: 前田 三男 九州大学, 工学部, 教授 (80037910)
• 研究分担者: 平川 靖之 九州大学, 総合理工学研究科, 助手 (80238344) ; 岡田 龍雄 九州大学, 工学部, 助教授 (90127994)
• キーワード: 紫外線レーザー / エキシマーレーザー / 非線形光学 / 極端紫外 / 第三高調波発生 / レーザー分光

研究概要

本研究はArFエキシマーレーザーが水素分子の二光子共鳴準位に同調できるとを利用して、水素ガスジェット中で波長64nmの共鳴第三高調波を高効率で発生させることを目的とする。これにより速い繰返し動作が可能な高出力のXUV(極端紫外)コヒーレント光源を得ることが期待できる。本年度の主な成果は以下の通りである。
1.高出力(400mJ、10Hz)の可変波長ArFレーザー光を水素ガスジェットに集光し、波長64.4nmのXUV光が共鳴的に発生できることを確認した。
2.水素ガスジェットの圧力向上、大口径化をはかり、ガス圧の絶対測定を行なった。
3.第三高調波の飽和について実験的・理論的検討を行ない、システムのスケールアップをはかった。
この他、また測定法が確立していないXUV域での出力測定についても研究しており、次年度はシステムのスケールアップを進めるとともにμJオーダーのXUV出力を出したいと考えている。

研究成果

• [文献書誌] Yasuyuki Hirakawa 他: "Absolute density measurement of a pulsed H_2 gas jet used for extreme ultraviolet generation by nonlinear frequency conversion" Japanese J. of Applied Physics. 93. 183-185 (1994)
• [文献書誌] Mitsuo Maeda 他: "High-brightness 64.4nm XUV generation by efficient frequency tripling of an ArF laser" Technical Digect of Conf.on Laser and Electro-Optics. 309-310 (1994)
• [文献書誌] Mitusuo Maeda 他: "Efficient frequency tripling of an ArF laser in a hydrogen gas jet" Technical Digect of European Conf.on Laser and Electro-Optics. 245-246 (1994)