| 研究概要 |
本研究は,気相中微粒子の粒径・粒径分散・密度・屈折率の超高感度その場計測法を開発することが目的である.このために,これまでに独自に開発してきたレーザ偏光散乱計測法をさらに発展させて,粒径で10nm以上,密度で10^5 cm^<-3> 以上の微粒子の粒径・粒径分散・密度・屈折率を非擾乱で再現性良く計測する方法を開発した.本方法を圧力,シラン濃度,流量,放電電力がそれぞれ13〜80Pa,1〜100%,20〜30sccm,40〜80Wのシランプラズマ中に発生するシリコン微粒子の測定に適用し,以下の結果を得た.
1.微粒子の粒径は10〜200nmである.
2.微粒子の密度は10^7 〜10^9 cm^<-3> である.
3.微粒子の屈折率はm=3-5iでほぼ一定である.
4.微粒子の粒径分散はk=0〜0.1でほぼ一定である.
5.本研究で開発した方法で測定した微粒子の粒径・粒径分散,密度は,SEM観察によって求めた値と各々±6%,±46%以内で一致した.
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