| 研究課題/領域番号 |
06555023
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| 研究種目 |
試験研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
応用物理学一般
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
白谷 正治 九州大学, 工学部, 助教授 (90206293)
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| 研究分担者 |
近藤 郁 リオン株式会社, 環測技術部, 主任
川崎 仁晴 九州大学, 工学部, 助手 (10253494)
福澤 剛 九州大学, 工学部, 助手 (70243904)
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| 研究期間 (年度) |
1994 – 1995
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| キーワード | レーザ散乱 / 2次元計測 / その場計測 / 偏光 / 微粒子 / プラズマCVD / プラズマプロセス / シランプラズマ |
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| 研究概要 |
本研究では、気相中微粒子のサイズ・サイズ分散・密度・屈折率の高感度その場計測法の開発を行うとともに、開発した計測法を用いて高周波シランプラズマ中の微粒子の成長過程について調べ、以下の成果を得た。
1)10nm以上のサイズ、10^5cm^<-3>以上の密度の微粒子のサイズ・サイズ分散・密度・屈折率を同時にその場測定可能なレーザ偏光散乱計測法を開発した。
2)30nm以上のサイズ、10^6cm^<-3>以上の密度の2次元空間分布を同時にその場測定可能な2次元レーザ偏光散乱計測法を開発した。
3)レーザ偏光散乱法の結果は、走査型電子顕微鏡による微粒子の直接観測の結果と、サイズ・サイズ分散・密度についてそれぞれ20%、40%、50%以内の偏差で一致しており、レーザ偏光散乱計測により、高精度測定が可能であることが示された。
4)開発したレーザ偏光散乱計測法を高周波シランプラズマ中の微粒子の成長観測に適用し、微粒子は主として高周波電極側のプラズマノシース境界領域で発生・成長すること、微粒子成長は核発生と初期成長期急速成長期、成長飽和期の3段階からなること、微粒子の屈折率は、サイズによらず一定であることなどを明らかにした。
今後は、装置の小型化、微粒子サイズと密度の測定下限の向上をさらに進める必要がある。さらに、今回開発した測定装置を用いて種々の微粒子の成長過程の解明に役立ててゆく努力も大切であると考えている。
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