| 研究概要 |
本研究は、幾何学的な形状誤差や取り付け誤差あるいは変形などの曖昧さを一切含まない、物理的な直線基準として、方向安定化レーザービームを利用することを提案し、光線基準に沿って、1m程度の移動距離を10nm台の精度で直進することのできる超高精度直進機構の開発およびその大型機構部品の形状測定、表面加工への応用を目的としている。今年度の主な研究結果を以下に示す。
1.基準となるレーザービームの支持部に低熱膨張材料を用いて熱変形を防ぎ、ビームの方向変動を10^<-8>rad台に押さえることができた。
2.真空光路上の固定されたある2点を常に通過するようにビームの振れを制御してビームの方向変動を10^<-8>rad台に安定させるビーム方向安定化装置を開発した。
3.方向安定化レーザービームを基準とし,防振台上に設置した1軸滑り案内を持つ直進移動テーブルを用いた高精度直進機構を応用し、1mの移動範囲、40μmの測定範囲,10nm台の直進精度を持つ高精度形状測定装置を開発した。
4.試作した高精度形状測定装置を用いて、長さ1mのストレートエッジの形状を測定し、この測定装置が10nm台の測定精度を持つことを確認した。
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