| 研究概要 |
1.測定系における歯車設定のための治具を製作することにより,被測定歯面の位置設定を正確に行える干渉測定機を完成した.
2.CCDイメージセンサにより撮影した干渉縞像上の座標と,干渉測定機上の被測定面の位置対応をはかるために,干渉縞像と,シミュレーション像の輪郭形状の一致させることが必要である.そのために物体光を歯車軸に対して平行に設定する手法を開発して,本方法の有効性を実験により確認した.
CCDイメージセンサにより干渉縞像を取り込み,その場合に用いた計算機より実際に計算処理を行うワークステーションへのデータの転送システムを構築した.また,測定データを歯面形状偏差に変換するためのアルゴリズムおよびそれを実現するためのソフトウェアを開発した.
4.位相シフト法により干渉縞像データを位相データに変換した場合,その位相は[-π,π]に限定された値でしかないため,この不連続な位相データを連続した位相データに変換する必要がある.しかし,CCDイメージセンサによる撮影した干渉縞像は対象とする機械部品の面形状によりその縞密度が高くなることがあり,そのような場合,画像処理を困難なものとなる.そこで本研究では撮影した基準面,被測定面の干渉縞像より得た[-π,π]の不連続な位相データをどうしをCCDイメージセンサ上の対応する画素ごとに差引することにより得た結果がホログラムな場合と同様の効果をもたらし,いわばコンピュータホログラフィック測定というべき方法の基礎を確立する位相データ処理法を開発し,そのことを補強する理論的裏付けを行った.
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