| 研究分担者 |
村尾 良男 太陽鉄工(株), 特機事業部, 部長
吉竹 正明 大阪府立産業技術総合研究所, 主任研究員
小川 倉一 大阪府立産業技術総合研究所, 材料技術部, 部長
清水 聖治 山口大学, 工学部, 助手 (00243626)
谷口 隆雄 山口大学, 工学部, 助教授 (20093966)
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| 研究概要 |
TiNi形状記憶合金はサイズの割に発生力が大きい。変位が大きい.低電圧の通伝加熱により簡単に駆動・制御できる.マイクロ化及び薄膜化する事により放熱効率が良くなるので応答速度が向上する.以上の数々の特徴からTiNi形状記憶合金薄膜をアクチュエータとして用いたマイクロバルブの設計・試作を行った.
まず,簡単なバルブモデルを作り,実際にスパッタにより成膜したTiNi合金薄膜の単軸引っ張り試験結果を用いてマイクロバルブの設計を行った.また,同様にTiNi合金薄膜の引っ張り試験結果を用いてFEMにより解析を行った.その結果,簡単なバルブモデルの結果と一致した.
次に,二種類の構造材料を用いてマイクロバルブの試作を行った.一つは,半導体集積回路加工技術を応用する事によりにより微細加工が比較的容易であるシリコン基板を用いた.TiNi合金をシリコン基板の上に成膜し,RIEによりシリコンをエッチングする事によりバルブアクチュエータとなるTiNi合金のダイアフラム構造を作ることが出来た.
もう一つは,最近開発された感光性ガラスを用いた.感光性ガラスは容易に立体的な構造を作ることが出来る.積層及び融着によりTiNi合金のダイアフラムをもったマイクロバルブを試作できた.
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