| 研究概要 |
オゾン処理をしてa.アルミチェンバーのガス放出率測定,b.中古イオンポンプ(ステンレス,チタン製)の機能回復の試み,c.アルミ箔の脱脂,を試みた.
実験 a.処理,未処理チェンバーのガス放出率を測定した。
b.イオンポンプの排気系を起動し,圧力変化を測定した。
c.脱脂条件として処理温度と時間をパラメーターに選び,2系統の実験をした.比較のために実際の現場で行われる熱処理のみの場合も実験した。
結果 a.処理(37時間)チェンバーのガス放出率は未処理のものに比べ,ベ-キング前1/2,ベ-キング中の吸着ガスは1/6,ベ-キング後は同程度だった.b.処理(40時間)ポンプは2x10^8Torrに達するのに600分,未処理では10^4分で,一桁以上改善された。その圧力でのガス放出率は2/3であった.c.時間を6時間,温度をパラメーターのとき,150℃において残留油分は未処理の1/3で工業レベルを満たし,熱処理のみのものの2/3と優れている.一方,温度150℃で時間をパラメーターにした時,6時間で工業レベルを満たした.
まとめ オゾン処理条件の変化による効果が解った.チタン,ステンレスにも有効である.脱脂への応用も可能である.今後は表面加工法との関係,動的ガス放出率,現場と同一条件での試験,酸化メカニズムの調査を行う.
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