| 研究概要 |
2つの高電圧を同時に加えて,無声放電と沿面放電を重畳できる2重同軸円筒構造のリアクタを作成して実験を行なった。長さ180mm,外側円筒内径35mmに対し、内側円筒外径を変え、次の実験条件をパラメータとして実験を行った。(1)無線放電ギャップ1〜5mm(2)処理ガス流量0.2〜1.5l/min,(3)放電々力0〜1.5wの範囲,この各条件でNO_xの分解率および分解効率特性を求め,次の事を明らかにすることができた。
NO_xの分解率は放電ギャップの増加,流量の減少および放電々流の増加につれて増加する。これ等の関係を総合するとNO_xの分解率はNO_x分子に衝突する電子数の対数に比例する関数関係けいにある。分解効率はこれを逆比例の関係にある。したがって、最適なリアクタサイズの決定はできない。しかし、最小なリアクタサイズを決定するために必要な基礎的な特性を得るとができた。
次年度は更にNO_x分解速度を促進させる放電重畳法にまで実験を進める。
|
