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1995 年度 実績報告書

カルコパイライト型半導体のクロライドマルチソースエピタキシャル成長と物性制御

研究課題

研究課題/領域番号 06650012
研究機関山梨大学

研究代表者

松本 俊  山梨大学, 工学部, 教授 (00020503)

キーワードカルコパイライト型半導体 / 三元化合物 / エピタキシャル成長 / セレン化銅ガリウム
研究概要

GaAs基板上のCuGaSe_2エピタキシャル結晶の格子定数および三つの帯間遷移エネルギーを測定し、立法結晶場における価電子帯のスピン軌道分裂Δsoおよびスピン軌道相互作用がない場合の価電子帯の結晶場分裂Δcfを算出してバルク結晶と比較考察した。
塩化銅(CuCl)、ガリウム(Ga)、セレン(Se)をそれぞれクヌーセン型セルから蒸発させてGaAs(100)基板上にCuGaSe_2をc軸エピタキシャル成長させた。成長容器内にはバッファガスとして2×10-5TorrのN_2ガスを導入した。
厚みが0.2μm以下のエピタキシャル結晶の格子定数は室温でa_<epi>=5.653Å、c_<epi>=10.948Åであった。a_<epi>はGaAsの格子定数と等しく、コヒーレント成長が確認された。バルク結晶の格子定数a_<bulk>=5.61Åとc_<bulk>=11.03Åを用いて弾性定数比c_<13>/c_<33>=0.48が得られた。コヒーレント成長結晶の正方晶歪(2-c/a)は0.063となり、バルク結晶の0.034に比べて約2倍の大きさになることがわかった。
Δsoは温度に依存せず14〜200Kで229meVとなり、バルクCuGaSe_2の0.23eVと等しい。一方、Δcfには温度依存性が認められ、-Δcfは14Kにおける152meVから200Kの142meVまで変化する。この温度依存性は正方晶歪の温度変化によるものである。

  • 研究成果

    (1件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (1件)

  • [文献書誌] T. Matsumoto: "Structural properties of epitaxial CuGaSe_2 on GaAs substrates" Journal of Crystal Research and Technology. (in press).

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公開日: 1997-02-26   更新日: 2016-04-21  

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