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1995 年度 研究成果報告書概要

光熱変換分光法による非晶質半導体薄膜の輻射量子効率の評価法の開発と発光準位の解析

研究課題

研究課題/領域番号 06650013
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 応用物性・結晶工学
研究機関岐阜大学

研究代表者

野々村 修一  岐阜大学, 工学部, 助教授 (80164721)

研究分担者 伊藤 貴司  岐阜大学, 工学部, 助手 (00223157)
研究期間 (年度) 1994 – 1995
キーワード輻射量子効率 / 光熱偏向分光法(PDS) / 水素化アモルファスシリコン / 光音響分光法 / 非輻射量子効率 / 発光準位 / 液体窒素温度光熱偏向分光法 / 光劣化
研究概要

本研究は光熱偏向分光法(PDS法)と光音響分光法(PAS法)を利用して薄膜材料の輻射量子効率と局在準位に関する評価手法を開発する事を目的としている。平成7年度は研究対象として水素化アモルファスシリコンとともに、フラーレン薄膜、アモルファス窒化ガリウム、アモルファスSiO_2薄膜を加えた。得られた結果を以下にまとめる。
(a)水素化アモルファスシリコン薄膜において輻射量子効率が30%程度と見積もられた。表面準位による輻射量子効率の低下が観測され、PDS法を用いて表面とバルクの局在準位の評価を行い、それぞ9.5×10^<12>cm^<-2>、1.8×10^<16>cm^<-2>の結果が得られた。
(b)本研究では広い測定エネルギー範囲に渡って吸収が非常に小さくフラーレン薄膜が解けない溶媒を見つけ、PDS法をこの材料に適用可能にした。この溶媒を用いてフラーレン薄膜が酸素のインターカレーションにより発光強度が減る現象を利用して輻射量子効率を測定する手法を開発した。その輻射量子効率は室温では5〜10%である事が分かった。
(c)PDS法を用いてTICSよ作製したアモルファスSiO_2薄膜の吸収スペクトルを測定しデバイスに応用可能な膜質である結果を得た。またアモルファス窒化ガリウムのギャップ内の吸収スペクトルの測定を行った。吸収の裾が大きくミッドギャップでの吸収係数が1cm^<-1>〜10cm^<-1>と比較的小さい事が分かり、光電気伝導が観測された。また窒化ガリウムをアモルファス化することにより室温でも大きな永続光電(Persistent photocurrent)が観測される事が分かった。
(d)PASを改良したRQEPAS法の測定系を完成させた。この手法は、PPES法でのパイロ素子の電極からの光反射と熱信号ではなく電極を透過した光が測定エラーを生じさせる欠点を改善できた。
(d)PDS法やPAS法は測定したい試料が液体や気体中に晒されており、測定が制限される事が多い。この欠点を克服するための新しい真空中測定手法であるPhototermal expansion induced bending spectroscopy(PEIB分光法)が有用な手法であることを見いだした。

  • 研究成果

    (12件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (12件)

  • [文献書誌] 野々村修一、後藤民浩、仁田昌二: "PDS(光熱偏向分光法)" 応用物理. 36. 1043-1044 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] T.Itoh,H.Habuchi,S.Nitta,S.Nonomura: "Gas effusion spectra of fullerenes" Fullerene Science and Technology. 2. 181-187 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] S.Hasegawa,T.Nishiwaki,H.Habuchi,S.Nitta,S.Nonomura: "Optical energy gap and below gap optical absorption of fullerene films measured by constant photocurrent method and photothernal deflection spectroscopy" Fullerene Science and Technology. 3. 163-178 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 野々村修一: "アモルファスシリコンメモリー" 応用物理. 64. 1013-1017 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] S.Nonomura,S.Kobayashi,T.Gotoh,S.Hirata et.al.: "Photoconductive a-GaN prepared by reactive sputtering" Journal of Non-crystalline Solids. (in print). (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] S.Ohsaki,N.Takada,K.Iwama,S.Nitta and S.Nonomura: "Preparation of new a-SiO_2 by glow discharge decomposition of TICS and its application to photoluminescence absorption spectroscopy" Journal of Non-crystalline Solids. (in print). (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] S.Nonomura, T.Gotoh, S.Nitta: "PDS(Photothermal deflection spectroscopy)" Applied Physics. 36. 1043-1044 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] T.Itoh, H.Habuchi, S.Nitta, S.Nonomura: "Gas effusion spectra of fullerenes" Fullerene Science and Technology. 2. 181-187 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] S.Hasegawa, T.Nishiwaki, H.Habuchi, S.Nitta, S.Nonomura: "Optical energy gap and below gap optical absorption of fullerene films measured by constant photocurrent method and photothermal deflection spectroscopy" Fullerene Science and Technology. 3. 163-178 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] S.Nonomura: "Amorphous silicon memory" Applied Physics. 64. 1013-1017 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] S.Nonomura, S.Kobayashi, T.Gotoh, S.Hirata et.al.: "Photoconductive a-GaN prepared by reactive sputtering" Journal of Non-crystalline Solids. (in print). (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] S.Ohsaki, N.Takada, K.Iwama, S.Nitta and S.Nonomura: "Preparation of new a-SiO_2 by glow discharge decomposition of TICS and its application to photoluminescence absorption spectroscopy" Journal of Non-crystalline Solids. (in print). (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より

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公開日: 1997-03-04  

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