| 研究課題/領域番号 |
06650371
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| 研究機関 | 法政大学 |
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研究代表者 |
原 徹 法政大学, 工学部, 教授 (00147886)
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| 研究分担者 |
長野 昌三 菱化マッセイ, 部長
浜中 広見 法政大学, 工学部, 助教授 (10061235)
山本 康博 法政大学, 工学部, 教授 (50139383)
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| キーワード | チタン / スパッタ / マクシツ / カクドブンプ |
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| 研究概要 |
研究は計画通り進行し、本年度下記の研究成果を得た。
1)ターゲットの角度ビーム分布に関するコンピュータシュミレイションを行い、現用ターゲットに対する結果を得た。この結果はこのターゲットをコリメーションスパッタに用いると法線方向のビーム強度が非常に弱く、著しく低速度と堆積となることが明らかになった。
2)コリメーションターゲットとして最適配向引立を決定するため、ベ-サル面配向の異ったTiターゲットを用意し、シュミレーションおよび実験により角度ビーム分布を求めた。
3)得られた実験結果はシュミレーション結果と一致を示した。これらの結果をもとに実験を進める。
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