| 研究課題/領域番号 |
07455066
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| 研究種目 |
一般研究(B)
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| 研究機関 | 神戸大学 |
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研究代表者 |
森脇 俊道 神戸大学, 工学部, 教授 (00031104)
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| 研究分担者 |
社本 英二 神戸大学, 工学部, 助教授 (20216146)
中井 善一 神戸大学, 工学部, 助教授 (90155656)
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| キーワード | 走査型電子顕微鏡 / マイクロマニュファクチャリング / 超精密加工機 / 圧電素子 / Walking Drive / 精密送りテーブル / 楕円振動切削加工 / ナノテクノロジー |
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| 研究概要 |
平成7年度は、主として以下の2項目について検討を行った。
(1)走査型電子顕微鏡内マイクロマニュファクチャリング加工機の設計
走査型電子顕微鏡内でマイクロマニュファクチャリングを実現するために、真空中で制御可能な、自由度の高い加工機の設計、開発を行った。具体的には、当研究室で開発した圧電素子を利用したWalking Drive XY-θ小型テーブルの設計、開発を行った。さらに、切り込み方向への位置決めを行う駆動軸を合わせ、4軸の小型超精密加工機械の設計を検討している。この小型加工機は電子顕微鏡内で加工箇所を観察可能なように十分な加工面積と、マイクロマニュファクチャリングを実現できるように、ナノメートル以下の高い位置決め精度を有するように設計してある。現在、設計・製作を終え、基礎的な性能検討を開始しようとしている。
(2)走査型電子顕微鏡内の楕円振動切削加工の検討
マイクロマニュファクチャリングを実現するために、当研究室で開発した切削力の低減に効果のある楕円振動切削加工を取り上げ、走査型電子顕微鏡内での2次元切削による基礎検討を行った。特に、加工が困難とされているダイヤモンド工具による鉄系材料の加工を行い、通常の加工に比べ、1桁以上の低い切削力で微細な加工が可能であることを確認した。また、最適な加工を実現するために、楕円振動切削を特徴づける工具振動形状の制御の検討を詳細に行った。
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