| 研究概要 |
アルミニウム製のテーブルの性能試験を行った.また,有限要素法により,ゼロデュア(熱膨脹係数の非常に小さいガラスセラミックス)やシリコンなどの新しい材料でテーブルを製作するための力解析と熱応力解析を行い,以下の実績が上げられた.
1.試作したアルミニウム製のテーブルをレーザ干渉測長機およびオプティカルフラットの測定によって評価し,真直度400nm,繰り返し精度40nmであることを確認した.
2.力解析では,十分小さな測定力のプローブを利用するば,ナノメートルオーダの変形量で測定できることを確認した.
3.ゼロデュアやシリコンなどの材料による有限要素法の解析により,熱平衡までの時間としては,テーブルの形状より熱伝導度の影響が大きいこと,熱応力の解析では,力解析に比べて1桁から2桁測定誤差が大きくなることが確認された.
今後は,これまでの研究成果を基に新しい材料によるテーブルの試作およびブローブシステムの試作を行い,ナノメートル分解能の三次元座標測定機の構成を目指す予定である.
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