| 研究概要 |
前年度のアルミニウム製のテーブルに対して,本年度は鉄製のテーブルを試作し性能試験を行った.また,前年度に開発したXテーブル,Yテブールに対して,Zテーブルの設計および有限要素法による解析を行った.この解析結果に基づきZテーブルを試作し性能評価を行った.以下の実績が上げられた.
1.試作した鉄製のテーブルをレーザ干渉測長機およびオプティカルフラットの測定によって評価し,真直度200nm,繰り返し精度30nmであることを確認した.
2.Zテーブルとして,永久磁石を用いた指示方法を開発した.また,この方法でナノメートルオーダの変形量で測定できることを有限要素法で確認した.
3.Zテーブルを試作し,レーザ干渉測長機および光スケールによる測定によって,真直度300nm,繰り返し精度50nmを達成した.
今後は,これまでの研究成果を基にさらに別の材料によるテーブルの試作およびプローブシステムの試作を行い,ナノメートル分解能の三次元座標測定機の構成を目指す予定である.
|
