| 研究概要 |
前年度の鉄製のテーブルに対して,いくつかの部分を改良し,性能試験を行った.また,Xテーブルに対して熱応力解析の結果を調べる熱試験を行った.さらに,Zテーブルを試作し市販のプロービングシステムを取り付け三次元測定実験を行った.以下の実績が上げられた.
1.試作した鉄製のテーブルをレーザ干渉長機およびオプティカルフラットの測定によって評価し,真直度100nm,繰り返し精度20nmであることを確認した.
2.Zテーブルとして,平行バネを用いた新しい支持方法を開発した.
3.Zテーブルを試作し,レーザ干渉測長機および光スケールによる測定によって,真直度400nm,繰り返し精度40nmを達成した.
4.プロービングシステムを搭載し,実際に三次元寸法の測定実験を行い,三次元的にナノメートル分解能の測定が可能なことを実証した.
5.全体の測定精度には,プロービングシステムがもっとも影響を与えていることを確認した.
6.熱試験の結果,ナノメートル計測のためには測定機の材質および測定環境の温度の影響が非常に大きいことが分かった.
しかし,課題としてプロービングシステムの高精度化,温度の影響を減らすための環境の整備が必要なことが分かった.
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