| 研究課題/領域番号 |
07455259
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| 研究種目 |
一般研究(B)
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
弘津 禎彦 大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (70016525)
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| 研究分担者 |
大久保 忠勝 大阪大学, 産業科学研究所, 助手 (00242462)
中田 芳幸 大阪大学, 産業科学研究所, 助手 (40164214)
石黒 孝 長岡技術科学大学, 工学部, 助教授 (10183162)
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| キーワード | ナノ結晶軟磁性 / 磁性粒子 / 粒子構造 / 高分解能電子顕微鏡 / ナノビーム解析 |
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| 研究概要 |
本研究はナノ結晶軟磁性に関する組織上の基本因子を整理し、その軟磁性発現機構解明に寄与する組織学的、結晶学的データを用意することを主眼においた研究である。具体的には、種々のサイズに制御されたFe粒子を非晶質SiO_2にサンドイッチ状に閉じ込め積層化し、
(1)磁性粒子構造
(2)粒子サイズ(原子クラスター規模からナノ結晶規模までの)
(3)平均粒子間隔
(4)磁性粒子層間隔
などを主に高分解能電子顕微鏡、ナノビーム電子回折・EELSなどにより調べ、これらをパラメーターとして軟磁気特性を実験的に評価、整理し、ナノ結晶軟磁性の発現機構について考察することを目的としている。
高分解能電子顕微鏡観察、ナノビーム電子回折、ナノEELSをクラスター構造に適用するには、従来よりも優れた試料状態観察手法を確立することが重要であり、作製試料を大気に晒す事なくそのまま電顕内に搬入できる装置「試料高真空移送装置」を購入することとなった。本装置は、小型超高真空チャンバー、試料ホルダー、トランスファー機構を有する装置であり、チャンバー内には2源真空蒸着のできる蒸着装置が組み込まれている。本装置は平成8年3月末に完成し納入(日本電子(株))納入される。
本年は、予備実験として、真空蒸着法によるFe粒子の作製を行い、通常の真空蒸着法によっても数nm〜数十nmサイズのFe微粒子の作製が可能であること、数nm微粒子の構造がfcc構造であること、などが判明した。上記装置が納入され次第、まずは、装置内でSiO_2膜/Fe粒子/SiO_2膜の3層構造の作製を開始し、次いで高分解能電顕観察、ナノビーム解析などを行う予定である。
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