| 研究概要 |
本研究は,電子デバイス実装およびマイクロマシン製造における超微細アセンブリシステムにおいて重要な高精度位置決め視覚の検討を行うとともに,視覚により得られた位置情報に基づくプロセスコントロール方法の提言を行うことを目的としており,本年度は下記の点を明確にした.
1.輝度分散値を用いた微細接合部のパターンマッチング
輝度分散値はノイズに対して安定で,濃淡変化情報を反映した出力が得られるため,濃淡変化に対する多くの変動要因を含む微視野画像に対して高速・高精度で安定な結果が得られるパターンマッチング法の評価関数として有効である.特に,輝度分散値V_1を二次分散値V_2で除した評価値V_3は輝度レベルの変化に対して安定で,処理領域サイズ9×9以上で算出したV_3値を評価値として用いることによって画素オーダーの精度でマッチングが可能であることを立証した.
2.視野分離撮像法による高精度視覚計測
視覚計測において,アセンブリ対象範囲全域にわたり高精度に位置計測するには,視野サイズの拡大と画素長の微細化という相反する要求を満たす必要がある.本研究では,異なった領域を1台のTVカメラで撮像可能な視野分離撮影像法を提唱し,そのレンズ系の構成と撮像視野領域の関係の定式化を行うとともに,マクロな視覚系における実験的検証を行った.本研究で提唱している視野分離撮像法とは,TVカメラのレンズ前面にV型プリズムを装着することで,計測対象の異なる2領域を1視野内に撮像する方法である.
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