| 研究分担者 |
比嘉 俊太郎 愛知工業大学, 工学部, 教授 (30064934)
林 二一 愛知工業大学, 工学部, 教授 (70074432)
渡辺 茂男 愛知工業大学, 工学部, 教授 (60064953)
古橋 秀夫 愛知工業大学, 工学部, 講師 (40229125)
山田 諄 愛知工業大学, 工学部, 教授 (30064950)
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| 研究概要 |
超伝導セラミックスをはじめとする酸化物系,非酸化物系セラミックスを使用し,紫外線エキシマレーザーにより,ミクロンサイズの要求するパターン構造を製作することを目的としている.本年度の研究実績をまとめる.
1.エキシマレーザー加工システムの構築 マスク投影法による光学系,マスクなどの機械要素,コンピュータ制御のためのインターフェイスならびにプログラムソフト,などを設計製作し,加工システムを構築した.レーザー光の良質化に関する知見,試料位置決めの高精度化に関する技法,ならびにレーザーシステムの基本特性を蓄積した.
2.セラミックス材料の作製準備 YBaCuO系超伝導体として,薄膜を高周波マグネトロンスバッタリング装置を使用して作製し,バルクを固相反応法で作製した.カオリン-鉄の傾斜機能材料として,固液分離工学の手法を導入した段階的添加法により厚手材料の作製を可能とした.作製条件を変えた種々の試料を準備した.
3.セラミックスのレーザーアブレーション アブレーション速度に関わる加工パラメータの最適化実験を試みた.ストリークカメラ画像処理システムの構築をした.
4.エキシマレーザーによる超微細加工 レーザーパラメータの最適条件を探り,ミクロンサイズのスロットおよび穴の加工実験を行った.
5.キャラクタリゼーション 三次元形状計測システムを構築し,加工部の幾何学的形状,表面粗さ等の品質の検討を行った.電子顕微鏡で組成分布の解析を行った.光音響診断システムで形状ならびに材料組成診断を行った.検査ならびに計測の技法ならびにシステム開発に関して知見を得た.また,評価データを蓄積した.
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