| 研究概要 |
平成9年度の主な研究成果は次の通りである.
1.昨年度設備備品費で購入したレーザ干渉測長器(東京精密DISTAX L-IM-20B)によりX,Yステージの位置制度の測定を行うために,新たにレーザ測長器の取り付け台を設計・試作すると共に,レーザ測長器によるステージ位置検出プログラムを開発した.
2.X,Yステージの位置精度測定の結果,Xステージの位置誤差は100mmの範囲において,-0.99〜1.49μm,Yステージの位置誤差は50mmの範囲において-1.98〜1.38μmである.また,本測定機のX,Yステージの位置精度測定の結果に周期的な誤差が現れた.
ホブの総合精度測定プログラムを開発し,歯車ホブの諸因子測定を行った.本測定機の繰り返し精度は,標準偏差で,全歯丈誤差σ=0.16μm,歯厚誤差σ=0.26μm,累積ピッチ誤差(右歯面)σ=0.17μm,累積ピッチ誤差(左歯面)σ=0.19μmであり,従来のSIP測定器による測定結果と比べ約5分の1の値であり,本測定機の繰り返し精度が高いことを確認した.なお,1つの切れ刃断面の10刃の測定に必要な時間は約10分である.
以上の研究結果により,5軸制御非接触型空間座標測定機の実用性を実証した.
今後の課題として,XYステージの周期的誤差の原因を明らかにして補正方法を開発することにより,さらなる高精度化を試みる必要があると考えられる.
|
