スピニック・データストレージ・メディア作製装置の試作

1995 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 07505004
• 研究種目: 試験研究(A)
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 中村 慶久 東北大学, 電気通信研究所, 教授 (50006235)
• 研究分担者: 平田 豊明 (株)大阪真空機器製作所, 堺工場開発課, 主任技師(研究職) ; 高野 研一 東北大学, 電気通信研究所, 助手 (70250842) ; 田河 育也 東北大学, 電気通信研究所, 助手 (80212017) ; 村岡 裕明 東北大学, 電気通信研究所, 助教授 (20239479)
• キーワード: スピニックデータストレージ / 垂直磁気記録 / 高真空スパッタリング / ハードディスク / 垂直二層膜媒体

研究概要

代表者等は垂直磁気記録の新しいパラダイムと考えられる、情報をメディア微結晶粒数個分の領域に記録する単磁区磁性微粒子記録、いわゆるスピニック・データ・ストレージ、の工学的体系を確立する研究を行なっている。本課題では、このためのスパッタ成膜の物理に立脚して磁性微粒子を整然と配向させた垂直スピニック・ストレージ・メディアにおけるスパッタ成膜機構とその最適化、膜の磁気的微細構造の解明と制御などの研究を通じて、基本コンセプトと作製技術の確立が目標である。
本年度は、申請者らが提案した新しいプラズマ閉じこめ型スパッタターゲット及び本所付属工場と連携して作製した特殊処理を施した清浄雰囲気成膜用アルミチャンバーを具備したマルチターゲット高真空スパッタ装置の試作を完了した。本装置は全金属ガスケットによる真空シールや予備室の装備など、実用装置として配慮されている。排気特性や到達による真空シールや予備室の装備など、実用装置として配慮されている。排気特性や到達真空度もすでに10^<-8>Torrの高真空度を達成し、次年度での実験成果が期待できる。
これまで、垂直磁化ハードディスクメディアの設計指針を得るために物性解析と高密度記録再生実験の両面の検討を行ない、微粒子型構造を持つ垂直記録媒体の結晶粒を微細化し磁気的な分離を促進した媒体ほど、高密度記録に重要な高いSN比を示すことを明らかにしている。加えて、このような微細粒子から成る媒体では平滑なメディア表面性が重要で異常析出物の少ない媒体ほど、超高密度記録に必須なヘッドとメディア間の微小スペーシングを実現できることを確認した。
以上、本年度に計画した主な課題はその結果を得ることができたので、さらに次年度にはこれらの実験結果を発展させて、スピニック・ストレージ方式についての可能性の検証と実用化への検討を行う。

研究成果

• [文献書誌] Y. Nakamura: "Extremely high-density magnetic information storage-Outlook based on analyses of magnetic recording" IEICE Trans. Electron. E78-C. 1477-1492 (1995)
• [文献書誌] 中塩栄治,渡辺功,村岡裕明,中村慶久: "液体窒素シュラウドが軟磁性膜に与える影響" 日本応用磁気学会誌. 19-suppl.83-86 (1995)
• [文献書誌] 村岡裕明,中塩栄治,渡辺功,中村慶久: "液体窒素シュラウドとアルミニウムチャンバを用いたスパッタ装置により成膜した二層膜記録媒体" 電子情報通信学会技術報告. MR95. 43-48 (1995)
• [文献書誌] 渡辺功,中塩栄治,村岡裕明,中村慶久: "垂直磁気記録媒体作成用アルミニウムチャンバーの検討" 電子情報通信学会技術報告. MR95. 1-6 (1995)
• [文献書誌] 高野研一、村岡裕明、中村慶久: "コンタクトMRヘッドによる垂直二層膜メディアの評価" 第19回日本応用磁気学会学術講演概要集. 26pC. 454- (1995)
• [文献書誌] 坂口武、渡辺功、村岡裕明、中村慶久: "垂直二層膜媒体におけるCr下地層の影響" 平成7年度電気関係学会東北支部連合大会. 2B. 75- (1995)
• [文献書誌] 五十嵐克人、村岡裕明、中村慶久: "垂直磁気記録における媒体記録層膜厚依存性" 平成7年度電気関係学会東北支部連合大会. 2B. 76- (1995)
• [文献書誌] 中塩栄治,渡辺功,村岡裕明,中村慶久: "軟磁性膜の成膜における液体窒素シュラウドの効果" 平成7年度電気関係学会東北支部連合大会. 2B. 77- (1995)
• [文献書誌] 五十嵐克人、村岡裕明、中村慶久: "垂直磁気記録におけるメディアノイズと媒体パラメータの関係" 1996年電子情報通信学会総合大会. SC-6-3. (1996)