| 研究課題/領域番号 |
07505004
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 試験 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・機器工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
中村 慶久 東北大学, 電気通信研究所, 教授 (50006235)
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| 研究分担者 |
平田 豊明 (株)大阪真空機器製作所, 堺工場開発課, 主任技師(研究職)
丹 健二 東北大学, 電気通信研究所, 助手 (80282010)
清水 幸也 東北大学, 電気通信研究所, 助手 (90282011)
村岡 裕明 東北大学, 電気通信研究所, 助教授 (20239479)
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| 研究期間 (年度) |
1995 – 1996
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| キーワード | スピニックデータストレージ / 垂直磁気記録 / 高真空スパッタリング / ハードディスク / 垂直二層膜媒体 |
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| 研究概要 |
代表者等は垂直磁気記録の新しいパラダイムと考えられる、情報をメディア微結晶粒数個分の領域に記録する単磁区磁性微粒子記録、いわゆるスピニック・データ・ストレージ、の工学的体系を確立する研究を行なっている。本課題では、この記録媒体の垂直スピニック・ストレージ・メディアに関する設計指針の基本コンセプトと作製技術の確立が目標である。とくに、記録媒体としての最適化を行なうため、膜の磁気的微細構造の解明と成膜プロセス制御などをスパッタ成膜の物理に立脚して検討している。
初年度には、清浄雰囲気成膜用アルミニウムチャンバを備えたマルチターゲットスパッタ装置の設計を行ない、多層膜構造の高密度磁気ディスクを高速作製するためには、多元カソードとロードロック機構を具備した装置が必要とした。その上で装置試作を完了し、10^<-9>Torrの高真空度を達成した。最終年度には、本装置での最適成膜条件を決定して垂直磁気記録媒体を試作した。その記録特性を評価した結果、本装置により微粒子型微細構造を持つ垂直記録媒体が実現できていること、高真空成膜では垂直結晶異方性が増加し、同時に磁性膜を構成する微粒子間の磁気的な分離がより促進されること、しかし、一方で粒子サイズは肥大化すること、などを見出した。さらに高密度記録再生の実験から、媒体ノイズの明瞭な低下が見られ高密度記録に重要な高いSN比を示す媒体となることが実験的に明らかになった。これらの物性解析と高密度記録再生実験の結果は、垂直磁化ハードディスクメディアの設計指針として有用である。
以上、当初計画の高性能垂直磁気記録作製装置の試作はその所望の性能を発揮して目的を達し、最適化した成膜条件下で作製した高密度磁気ディスク媒体の優れた記録性能を確認した。これらの実験結果は、今後さらに理想的なスピニック・ストレージ・メディア実現の糸口であり、超高密度記録方式の実用化検討の基礎となるものである。
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