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1996 年度 研究成果報告書概要

STM発光スペクトロスコピー用探針位置ロック手法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 07554050
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分試験
研究分野 固体物性Ⅰ(光物性・半導体・誘電体)
研究機関東北大学

研究代表者

上原 洋一  東北大学, 電気通信研究所, 助教授 (30184964)

研究期間 (年度) 1995 – 1996
キーワードSTM / 分光 / 高位置分解能計測 / 表面科学
研究概要

STM発光分光は表面分析の新しい手法として注目されている。STM探針先端から放出されるトンネル電子ビームの直径は1nm以下であるから、これに匹敵する空間分解能がSTM発光分光に期待されるが、実際の分解能はこれに劣る。その原因は探針ドリフトにある。STMは環境の温度揺らぎなどの原因で、探針位置が時間の経過とともに不規則に変化することが知られている(探針ドリフト)。一方、STMからの発光は微弱なため、その計測には多くの時間(数百秒かそれ以上)が必要となる。STM発光分光の位置分解能はこの露光時間内の探針ドラフトに支配されているのが現状である。
本プロジェクトではこの点を改善するために新しい探針位置固定機構を開発した。その手法の概略は以下の通りである。スペクトル計測に必要な露光時間をnTと仮定する。まず試料表面の凹凸像を計測し、その中の1つの表面構造からのSTM発光をT時間だけ計測する。その後、発光計測前と同じ領域のSTM像を計測し、2つのSTM像を比較する。もし両者に差異があれば探針ドリフトが発生したことになるが、その量は2つの像の比較から算出できる。このように算出された量だけ探針位置を移動させれば、ドリフトが発生する前の位置にもどったことになり、同じ構造からの発光計測が再び可能になる。以上のプロセスをn回繰り返すことにより、nTの時間の露光が可能になるが、ドリフト量は最大でもT時間に発生するものに止めることができる。Tを十分小さくとることにより、ドリフトの影響の少ないSTM発光分光が可能になる。
以上のアルゴリズムを実現するソフトウエアーを試作し、開発した機構が有効に作用することを確認した。

  • 研究成果

    (4件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (4件)

  • [文献書誌] Y.Uehara, S.Ohyama, K.Ito and S.Ushioda: "Optical observation of Single-Electron Tunneling Effect at Room Temperature" Jpn.J.Appl.Phys.35,167(1996).35. L167-L170 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Y.Uehara, K.Ito and S.Ushioda: "Nanometer-scale characterization of surface materials by STM light emission spectroscopy" Appl.Surf.Science 107,245(1996).107. 247-254 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Y.Uehara, S.Ohyama, K.Ito and S.Ushioda: ""Optical observation of Single-Electron Tunneling Effect at Room Temperature"" Jpn.J.Appl.Phys.35. 167 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Y.Uehara, K.Ito and S.Ushioda: ""Nanometer-scale characterization of surface materials by STM light emission spectroscopy"" Appl.Surf.Science. 107. 245 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より

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公開日: 1999-03-16  

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