| 研究課題/領域番号 |
07554074
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| 応募区分 | 試験 |
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
菅井 勲 東京大学, 原子核研究所, 助手 (80150291)
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| 研究分担者 |
片山 一郎 東京大学, 原子核研究所, 教授 (30028237)
野村 亨 東京大学, 原子核研究所, 教授 (60087393)
川上 宏金 東京大学, 原子核研究所, 助手 (50013412)
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| キーワード | パルスレーザー / ストリッパーフオイル / 炭素フオイル / スパッターリング / クラスター |
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| 研究概要 |
初年度に製作した〜10^<-7>Torr台の真空チャンバーとQスイッチパルス型YAGレーザー、周波数10Hzのレーザービームを用いて、炭素母材のレーザーAblationによる蒸着を行った。
まず、蒸着基板は蒸発源から5〜8cmの距離にセットした、デスク状の炭素蒸発母材はレーザービーム入射方向に対して45°に置いた。
このレーザー装置は、1064nmの900mJ/pulse、532nmの480mJ/pulseそれに206nmの100mJ/pulseの出力をもち、それぞれのpowerで蒸着速度を測定した。480mJ/pulse以上のpowreでないとなか々蒸着しない、他の蒸発法、例えば、電子ビームやアーク放電法に比べて極端に低いので集光レンズを用いてビーム密度を高めて蒸発を行った。
パルスレーザーで蒸発した炭素粒子はスライドガラスにコートした剥離剤層を吹き飛ばすので、剥離剤の上に銅を100-200μg/cm^2の厚さを真空蒸着した。レーザー蒸着後、化学溶液で銅を溶かしてセルフサポートの炭素フオイルを作った。
〜50μg/cm^2の炭素フオイルは東工大(理)の3.2MeV、1〜3μAのネオンビームを用いて照射された。現在の所、本方法で製作したフオイルの寿命は市販のものと同じ位の寿命であった。
その他に、スライドガラス基板に蒸着した炭素膜の表面をデジタル型マイクロスコープで、又蒸着膜厚分布はレーザー変位計を用いて測定した。
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