| 研究課題/領域番号 |
07555016
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| 研究種目 |
試験研究(B)
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
加藤 善章 大阪大学, レーザー核融合研究センター, 教授 (30093397)
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| 研究分担者 |
徳村 啓雨 日本非球面レンズ(株), 主任研究員
實野 孝久 大阪大学, レーザー核融合研究センター, 助教授 (30162811)
中塚 正大 大阪大学, レーザー核融合研究センター, 教授 (20088462)
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| キーワード | 能動光学 / 波面制御 / 可変形反射鏡 / レーザー / シャック・ハルトマン法 |
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| 研究概要 |
1.本研究の目的は、可変形反射鏡を用いてレーザー光の波面を制御し、集光位置におけるレーザー光の強度分布を自由に制御しようとするものである。この方法は、次のような利点を有する。
(1)レーザー光が波面収差を有している場合、これを可変形反射鏡で修正でき、レーザー装置に対する仕様を緩和できる。例えば高繰り返し固体レーザーは熱的収差を生じやすいが、これを容易に補正できる。
(2)波面を積極的に変化させることにより、通常の光学素子では実現が困難な強度分布を得ることができる。
2.平成7年度においては以下の研究成果を得た。
(1)多くの微小レンズ列で構成されるシャック・ハルトマン型波面計測装置を開発し、レーザー光の波面をλ/5以内の精度で測定できることを示した。
(2)電歪素子であるPMNをアクチュエータとする9点駆動可変形反射鏡を作成し、その特性を調べた。
(3)この反射鏡を用い、波面収差を5λ(λ=633mm)から0.4λに補正することができた。
(4)軸対称の非球面凸レンズとシリンドリカルレンズで構成される線集光光学系では、集光線が湾曲し、ターゲット面上で均一な狭い幅の線集光が得られない。可変反射鏡を用いて入射レーザー光の波面を変化させることにより、集光線の湾曲を除去し、細い一様強度分布の線集光を得られることを示した。
(5)可変形反射鏡と軸対称線の集光レンズの組み合わせにより、集光位置における強度分布(丸・角等の変化、一様・リング等の分布)を自由に変えられることを示した。
(6)大型反射鏡を変形させるには電歪素子は駆動力が不十分なため、精密駆動が可能なマイクロメータを開発し、基本特性を測定した。
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