| 研究課題/領域番号 |
07555024
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
志水 隆一 大阪大学, 工学部, 教授 (40029046)
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| 研究分担者 |
市橋 幹雄 日立製作所, 計測器事業部, 主任技師
生田 孝 大阪電気通信大学, 工学部, 教授 (20103343)
木村 吉秀 大阪大学, 工学部, 助手 (70221215)
高井 義造 大阪大学, 工学部, 助教授 (30236179)
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| キーワード | 無収差電子顕微鏡法 / 能動型画像処理 / 実時間変調処理法 / 加速電圧変調 / 位相像分解観察 |
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| 研究概要 |
関数制御型加速電源変調システムの開発に成功し、電界放射型電子顕微鏡JEM-100C-FEGに導入して、目的とする能動型実時間画像処理電子顕微鏡観察を現在遂行中である。すでに、ダイヤモンド薄膜界面および生体試料の無染色高コントラスト観察にも成功している。本研究で得られた成果を以下に列記する。
(1)加速電圧変調特性を電子顕微鏡を開いて直接観察する方式を開発し、JEM-100C-FEGの特性解析を行い、最適の関数制御信号波形の決定を実験により確立した。
(2)この結像特性を反映した最適信号波形をパソコンより生成して、光ファイバーを通してJEM-100C-FEGの高圧加速電源に導き、目的とする能動型高圧加速変調を行うことに成功した。
(3)JEM-100C-FEGを用いた能動型実時間画像処理法により、位相像と振巾像の分離撮影に成功し、高分解能観察が実現出来ることを実証した。
(4)応用として、ダイヤモンド薄膜界面の高分解能観察および生体試料として緑膿菌ベン毛の無染色位相像観察に成功し、本方式の有間性を確めた。今後さらに応用をひろげて、とくに生体試料の無染色高コントラスト像観察法を確立したい。
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