研究概要 |
平成8年度は以下の項目について研究を実施した。 1.振動子の大きさを変え、サイズ効果に関する実験を行い、理論解析との比較を行った。振動子の長さが短いほど共振周波数が高くなり、感度が高くなる。一方、振動子の直径は、相対的な周波数変化率を考慮すると、あまり影響がない。 研究成果はOpt.Rev.Vol.30,No.2,PP.135-138,1996およびT.IEE Japan,Vol.117-E,No.2,PP.105-108,1997.を参照されたい。 2.光カップラーを用いて例信用のレーザ光と振動検出用のレーザ光を重畳する光学系を構築し、振動検出の光学系の簡便化をはかった。 3.片持ち梁の先端に別の光ファイバーをおいて振動検出できることを確認した。 片持ち梁の先端にミラーをおいて振動検出できることを確認し、一本の光ファイバーのみで振動検出することが可能になった。 5.片持ち梁の先端に光の反射膜を蒸着し、振動検出も一本の光ファイバーでできるシステムを製作し、この方法により共振の検出ができることを確認した。 6.共振周波数をコンピュータで自動追従するシステムを製作し、その動作を確認した。 以上に付け加えて、密度、粘度以外の物理量として、温度計測、スパッタ薄膜の膜圧測定なども同様の手法で測定できることを明らかにした。
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