| 研究課題/領域番号 |
07555193
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 応募区分 | 試験 |
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
金子 正治 静岡大学, 工学部, 教授 (30022023)
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| 研究分担者 |
小杉 津代志 スター精密(株), 開発部
八木 績 (株)河合楽器製作所, 中央研究センター
國谷 保雄 中央大学, 理工学部, 教授 (80020353)
村上 健司 静岡大学, 電子工学研究所, 助教授 (30182091)
鈴木 久男 静岡大学, 工学部, 助教授 (70154573)
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| キーワード | 配向性酸化スズ薄膜 / テルル化カドミウム / エピタキシャル成長 / 光電変換膜 / 大面積薄膜形成技術 / 噴霧熱分解法 / 薄膜結晶基板 |
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| 研究概要 |
配向性酸化スズ薄膜の上に形成したときにエピタキシャルな成長が起こりやすいと考えられる光電変換膜の材料を(1)酸化スズ薄膜配向面と格子整合すること、(2)光電変換材料として適していること、そして(3)噴霧熱分解法により形成できることを条件に調査を行いテルル化カドミウムを選定した。
テルル化カドミウム薄膜を(1)ガラス基板上への形成、(2)配向性酸化スズ薄膜上への形成、そして(3)配向性酸化スズ薄膜上へのエピタキシャル形成の順に進めた。そして、(1)及び(2)については終了し、テルル化カドミウムが形成できる条件を特定した。そして(3)に着手しているが、(2)のままの形成条件ではエピタキシャルな形成はできないことが明らかとなったため、今後形成条件の見直し、膜形成後の熱処理等を試みる予定である。
酸化スズ膜上にテルル化カドミウムを形成したものに電極を取り付け太陽光に対する応答を調べた。そして、電流及び電圧が出力されることを確認した。
太陽電池に必須である大面積薄膜形成技術の一つとして、これまでの4倍の面積である50mm×50mmのガラス基板上への配向性酸化スズ薄膜の形成を試みた。そして、噴霧に関する各種条件を見直すことにより配向した均一な薄膜を得ることができた。
以上のように本研究はおおむね順調に推移している。来年度は予定より若干遅れている配向性酸化スズ薄膜上へのテルル化カドミウム薄膜のエピタキシャル形成にまず注力し進めていく予定である。
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