パルスレーザーを用いるナノレイヤー制御高品質素材合成装置の試作

1995 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 07555225
• 研究種目: 試験研究(B)
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 佐藤 修彰 東北大学, 素材工学研究所, 助教授 (70154078)
• 研究分担者: 山田 耕太 東北大学, 素材工学研究所, 助手 (30261473) ; 藤野 威男 東北大学, 素材工学研究所, 教授 (20229024)
• キーワード: パルスレーザー / 高品質素材 / 薄膜 / 酸化物 / 硫化物 / 多層膜

研究概要

パルスレーザーを用いるナノレイヤー制御高品質素材合成装置の試作を行った。今年度は、まず、反応用の高真空装置の設計を行い、ターゲット回転機構や基板加熱機構、差動排気による圧力調整機構および反応ガスの導入機構を持つ高真空装置を試作した。次にNd:YAGレーザーのパルスレーザーの発生とレーザー光の強度、パルス幅、間隔などの性能を調べ、反応装置との光学系を調整した。試料にタンタル板を用いて、空気雰囲気においてレーザーと反応させると、レーザー光を照射した部分において、酸化物が生成されることが分かった。また、反応ガスとして二硫化炭素を窒素のバブリングによりタンタル表面に供給し、レーザーと反応させた場合には、表面に硫化物が生成していることが分かった。さらに、タンタルの化合物蒸気として、タンタルブトキサイドを窒素のバブリングによりガラス基板表面に供給し、レーザー光を照射したところ、薄膜状のタンタル酸化物が析出することが分かった。