| 研究課題/領域番号 |
07555338
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| 研究種目 |
試験研究(B)
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| 研究機関 | 豊田工業大学 |
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研究代表者 |
上田 一之 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, 教授 (60029212)
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| 研究分担者 |
田口 雅美 アルバックファイ(株), 技術開発室長
本多 文洋 豊田工業大学, 工学部, 教授 (20005953)
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| キーワード | TOF-ESD / FTIR / 電子励起イオン脱離 / 水素吸着 / 水素吸着 / ロジウム / シリコン |
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| 研究概要 |
飛行時間型電子励起イオン脱離法(TOF-ESD)は簡単な装置構成でありながら、固体表面上の水素検知が容易で大変高感度であるのど表面分析機器としての有用性が期待されている。ところが、脱離イオンの中性化確立がイオン種によって大きく異なり、定量性が確立されていないために実用化が遅れている。
このために、規定の水素や酸素に対して脱離イオンの量を測定しておく必要がある。そこで水素の導入量に対する、ESDイオンの収量の関係、脱離イオンのエネルギー分布の変化、及び、導入酸素量に対するESDイオンの収量との関係を詳細に調べ、直線関係にある吸着量を求めた。このときの吸着量を定量的に求める方法として通常の昇温脱離では試料と試料ホルダーからの脱離が混在するために精度が出ない。そこでレーザービームによる励起で表面上に吸着する原子や分子をイオン化して検知する方法を採用することにした。しかし、本年度は紫外光パルスレーザーを購入することができなかった。そこで、フーリェ変換型の赤外分光器を用いて吸着種の振動スペクトル強度から定量化を実施することにした。超高真空装置に赤外用のZnSe製の窓を用いて反射型のスペクトルをとることを試みた。試料表面での1回散乱の反射スペクトルの強度は非常に小さく、分光器の中での一酸化炭素や水の吸収スペクトルは数桁も大きいことがわかった。目下、分光器自体を真空に排気する事も含めて対応策を考慮中である。
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