研究概要 |
本年度は,フォトサーマル法による傾斜機能材料(FGM(の熱物性値評価装置の開発と装置の信頼性の確認を行い,以下のような成果を得た。 (1)比較的厚いFGMにも適用可能な,フォトサーマル法の装置を設計・製作を行った。データ処理,解析に関しては,昨年度開発した設備を使用し,光学系につい。て,赤外光により温度検知するために新たに設計・製作した。 (2)フォトサーマル法の測定理論をFGM測定用に拡張し,多層膜における表面温度のAC応答成分の理論解を求めることができた。特に,低周波数域における3次元の温度波の影響を定量的に明らかにすることができた。 (3)得られた温度応答の解から,FGM内部の熱物性値がどのように分布しているか計算する逆問題について検討を加え,実験データから熱物性値を抽出する解析方法を開発した。 (4)熱物性値の分布状態があらかじめ良くわかっている標準的なFGMサンプル(Ni/ZrO_2系)を用いて,開発した装置とデータの解析方法の妥当性を検討し,十分実用測定が可能なことが明かとなった。
|