| 研究課題/領域番号 |
07555408
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| 応募区分 | 試験 |
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
櫛引 淳一 東北大学, 工学部, 教授 (50108578)
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| 研究分担者 |
佐橋 家隆 (株)山寿セラミックス, 晶研事業部, 開発部長(研究職)
山本 和久 松下電器(株), 開発本部・材料デバイス研究所, 主任技師
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| キーワード | 超音波マイクロスペクトロスコピー / V (z)曲線解析法 / 定量測定法 / 漏洩弾性表面波 / 電子デバイス材料 / オプトエレクトロニクス材料 / LiTaO_3 / 単結晶評価技術 |
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| 研究概要 |
本研究では、本研究代表者らが発明・開発した超音波マイクロスペクトロスコピー(UMS)技術を光学用LiTaO_3単結晶の開発とデバイス作製プロセスの一つであるプロトン交換、分極反転プロセスの問題に適用するものである。
平成8年度の研究成果を要約すると以下の通りである。
1.光学用LiTaO_3単結晶の評価法の開発:
(1)昨年度引き上げた結晶から得られたウェハに対して、「UMS技術」の基本システムである直線集束ビーム超音波顕微鏡を適用して、漏洩弾性表面波(LSAW)速度を測定し、キュリー温度、科学組成比、密度、屈折率、c軸格子定数の精密測定値との相互関係を決定した。
(2) LSAW速度面分布と、X線トポグラフとを比較検討した。光学用LiTaO_3単結晶に対する正確なコングルエント組成を定めた。
2. Y軸引き上げの光学用LiTaO_3単結晶の育成:
実験的に定めたコングルエント組成の4インチ径の単結晶を引き上げた。
3.プロトン交換層と分極反転層の作製と評価法の開発:
(1) Z-cut LiTaO_3基板に対するサンプル作製の実験手順を確立した。
(2) 100〜300MHzにおいてLSAW速度の周波数依存性の測定し、評価・解析手順を確立した。
4.漏洩弾性表面波の電波特性解析(櫛引):層状構造に拡張した。
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