| 研究概要 |
(1)マイクロ/ナノスケールワールド放電プラズマ発生装置の試作とそのエッチングへの応用
『マイクロ/ナノスケール放電プラズマ発生装置』の試作を行い、μmからnmオーダーの精密制御された電極間-“ナノスケール/マイクロスケール(メゾスコピック)空間"-で、100気圧までの高圧環境下での微小放電プラズマの発生に成功した。得られた、各種、微小スケールプラズマについて、プローブ診断法。による、プラズマ診断の初期実験を行い、「低温高密度(10^<13>個/cc)プラズマ」といった、これらのプラズマの特異的な物性を明らかにした。
また、その微小エッチングの応用を試み、サブミクロンエッチングに成功した。
(2)マイクロ/ナノスケールワールドプラズマ電極用マルチプローブの試作
上記微小プラズマ発生電極/診断プローブを目指した、ナノプラズマ用マルチプローブの試作を試みた。光学顕微鏡下での絶縁膜ウエットコーテイング法により,数μm程度の大きさの電極用プローブの作製に成功した。
(3)プラズマ環境STMの開発
ナノプラズマの診断方法として、プラズマ環境STMを提案し、その試作に着手した。計測系,真空系などは完成し,そのプラズマ下での動作確認まで行った。
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