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本年度は、平成7年度に改良した微量He原子測定装置を実機として使用可能にするために、バックグラウンドの改善および測定、質量分析信号のパルス測定、装置較正法の開発および検証、試料測定試験を実施した。以下に研究実績を列記する。
1.タンデム接続したターボ分子ポンプを使用し、装置の真空排気を実施した。180℃24時間のベ-キング後、48時間の排気で到達圧力は、6X10^<-8>Pa以下であった。Heのバックグラウンド値は、10^7He atoms程度であった。また、電気炉内部に高温ベ-キング(1000℃1時間)を施すことによって、電気炉昇温時でも同様のバックグラウンドが得られることが分かった。
2.質量分析計信号を従来の電流測定に加えて、パルスにより測定出来るようにした。
3.微量He原子測定装置の測定精度の長期安定性を確認するためには、He含有標準試料法による装置較正が重要である。1X10^<11> He atomsまでのHe含有標準試料を作製し、He含有量を測定した。He含有標準試料へのHe注入量とHe測定値は良く一致した。
4.高純度Heを用いた希釈法による装置の較正限界を検証した。1X10^9 He atomsが較正限界であった。現在(1)パルス計測でHeを測定した場合の装置の較正限界、(2)高純度窒素によるHeの希釈ガスを用いた場合の装置の較正限界、の測定を行っている。
5.バックグラウンド改善後に、試料の測定実験を行った。試料には中性子照射試料を使用した。試料のHe含有量は8X10^9 He atoms程度であり、従来装置で測定した試料の含有量より1桁小さい値であった。電気炉に改良を加え、輻射熱で試料を溶融することにより、良いS/N比で測定値を得ることが出来た。
今後は、パルス測定によるHe測定下限を決定し、中性子照射試料を用いて性能を検証し、成果をまとめる予定である。
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