| 研究課題/領域番号 |
07558178
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| 応募区分 | 試験 |
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
門田 清 名古屋大学, 工学部, 教授 (60093019)
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| 研究分担者 |
松永 幸二 日新電機, 先端技術研究開発部, 主席研究員
佐々木 浩一 名古屋大学, 工学部, 助手 (50235248)
庄司 多津男 名古屋大学, 工学部, 助教授 (50115581)
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| キーワード | 負イオン / 酸素 / フッ素 / ヘリコン波放電 / 飛行時間型質量分析 / 静電プローブ / レーザー光脱離法 / 発光分光計測法 |
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| 研究概要 |
平成8年度においては、以下の研究成果が得られた。
1.酸素負イオン
(1)発光分光法を用いた酸素負イオン診断法を開発した。本計測法は、O^-イオンとO^+イオンとの相互中性化反応で生成される酸素原子は777nmと845nmの光を放出することを利用して、この発光強度とO^+イオン密度を測定することにより、O^-イオン密度を求める方法である。本計測法で必要となるO^-イオンとO^+イオンとの相互中性化反応の速度係数を求めることにより、O^-イオン計測法として確立した。本計測法を適用するこにより、高速パルス変調時におけるO^-イオン密度の時間変化を比較的容易に調べることができ、放電時間と共にO^-イオン密度が増加していくことが分かった。
(2)直線磁場とカスプ磁場を組み合わせた磁場配位を用いることにより、シート状の酸素プラズマを生成することに成功した。このシートプラズマにレーザー光脱離法を適用してい酸素負イオン密度の空間分布を測定し、シートプラズマの周辺における広い領域で酸素負イオンが効率よく生成されていることを確認した。
2.フッ素負イオン
(1)飛行時間型質量分析器によるGF_4プラズマ中のF^-イオン測定により、F^-イオンはアフタ-グローで効率よく生成され、その主な生成過程はCF_3ラジカル等への低温電子の解離性付着であり、また消滅過程はCF_3^+との相互中性化反応であるとの結論に至った。
(2)フッ素プラズマに適用可能な加熱プローブを開発して、プラズマの電子温度と電子密度が測定できるようになった。今まで分からなかった電子温度は6eV程度であることを確認した。この加熱プローブを使用することにより、フッ素負イオンをレーザー光脱離法で検出できるようになった。
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